小型高低温探针台 真空探针台可实现高真空环境下的高温及低温电学性能测量,真空腔一体成型,具有设计合理,真空度稳定,温控精度及机械精度高等特点;根据测试温度范围不同,可单选高温或低温等相应组件,温度可达到400℃,低温部分采用液氮或液氦冷却组件,温度可低至-196℃,;真空系统可选机械泵或分子泵系统,真空度可达到10-3Torr或10-6Tor 小型高低温探针台 真空腔体 类型 高温型室温到350℃ 高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃ 腔体材质 304不锈钢 6061铝合金 可选 腔体内尺寸 127mmX57mmX20mm 腔体外尺寸 150mmX80mmX32mm 腔体重量 不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG 腔体上视窗尺寸 Φ42mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离) 腔体抽气口 KF16法兰(其余接口规格可转接) 腔体真空测量口 KF16法兰(其余接口规格可转接) 腔体进气口 6mm快拧 或 6mm快插 腔体冷却方式 腔体水冷+上盖气冷 腔体水冷接口 腔体正压 ≤0.05MPa 腔体真空度 机械泵≤5Pa (5分钟) 分子泵≤5E-3Pa(30分钟) 样品台 样品台材质 不锈钢 银铜合金 纯银块 银铜合金 纯银块 样品台尺寸 26x26mm 样品台加热方式 电阻加热 电阻加热 液氮制冷 样品台-视窗 距离 11mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm) 样品台测温传感器 PT100型热电阻 样品台温度 室温到400℃ 室温到400℃ 室温到-196℃ 样品台测温误差 ±0.5℃ 样品台升温速率 高温100℃/min 低温7℃/min
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主要经营
小型台式加热功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压,电流反馈,样品台旋转,样品高度调节及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率,可对大部分金属进行均匀物理沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和**物薄膜。。
单位注册资金单位注册资金人民币 100 万元以下。
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