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郑州科探仪器设备有限公司
主营：真空探针台,小型蒸镀仪,石英管真空封口机 - 15136405012
郑州科探仪器设备有限公司
主营：真空探针台,小型蒸镀仪,石英管真空封口机
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中型真空高低温探针台，体型平板大小，功能齐全，带高低温（-196℃到400℃），探针尖10μm。
模块化结构设计，可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级。可根据测试环境和测试条件的改变而进行现场升级。增加高低温等，以满足用户新的要求。
可处理不同尺寸的晶圆
可测试芯片、晶圆
可处理薄的和弯曲的晶圆或者硅和III-V 族化合物
模块化结构设计，具有较好的灵活性
中型真空高低温探针台参数
真空腔体 | |
类型 | 加热型350℃ 或者加热制冷型 室温到350℃ 室温到-190℃ |
腔体材质 | 304不锈钢 |
腔体内尺寸 | φ90x40mm |
腔体上视窗尺寸 | Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm） |
腔体抽气口 | KF16 |
腔体进气口 | 公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
腔体口 | 公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
腔体正压 | ≤0.05MPa |
腔体真空度 | 机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） |
样品台 | |
样品台材质 | 304不锈钢 |
样品台尺寸 | 26X26mm |
样品台-视窗 距离 | 30mm（可选凹视窗间距15mm） |
样品台测温传感器 | A 级PT100铂电阻 |
样品台温度 | 室温到350℃（可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃） |
样品台测温误差 | ±0.2℃ |
样品台变温速率 | 高温10℃/min 低温5℃/min 较大值 |