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小型真空高低温探针台,高低温真空探针台,高温400℃低温-196℃,10微米探针尖,移动滑块精度≤0.01mm
高低温真空探针台,能够为测试样品提供高真空和较 . 端高温/低温的测试环境,非常适合各种半导体材料、芯片和电子元器件的无损测试,应用方向有:真空&较 . 端温度条件下的芯片/MEMS/NEMS测试;宽温区材料或器件的IV/CV特性测试;LD/LED/PD测试;光谱特性测试;霍尔效应测量;可变磁场环境中电磁输运特性测试;微波射频测试;瞬态光电流响应测试;拉曼-瞬态荧光寿命成像;电-光效应测试;**导测试试验等。
产品特点
◆高真空度,真空度优于1×10-3 Pa
◆高精度温控系统,自动冷媒控制,-196℃到400℃温度区间内精确控制样品台温度
◆防辐射屏设计,保证样品温度均匀
◆兼容高倍率金相显微镜
◆采用液氮或氦气压缩机制冷
小型真空高低温探针台参数
真空腔体 | |
类型 | 加热型350℃ 或者加热制冷型 室温到350℃ 室温到-190℃ |
腔体材质 | 304不锈钢 |
腔体内尺寸 | φ90x40mm |
腔体上视窗尺寸 | Φ42mm(选配凹视窗Φ22mm) |
腔体抽气口 | KF16 |
腔体进气口 | 公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
腔体口 | 公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
腔体正压 | ≤0.05MPa |
腔体真空度 | 机械泵≤5Pa (5分钟) 分子泵≤5E-3Pa(30分钟) |
样品台 | |
样品台材质 | 304不锈钢 |
样品台尺寸 | 26X26mm |
样品台-视窗 距离 | 30mm(可选凹视窗间距15mm) |
样品台测温传感器 | A 级PT100铂电阻 |
样品台温度 | 室温到350℃(可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃) |
样品台测温误差 | ±0.2℃ |
样品台变温速率 | 高温10℃/min 低温5℃/min 较大值 |