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郑州科探仪器设备有限公司
主营：真空探针台,小型蒸镀仪,石英管真空封口机 - 15136405012
郑州科探仪器设备有限公司
主营：真空探针台,小型蒸镀仪,石英管真空封口机
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腐蚀性气体质量流量计气体配比器，
• 采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。
• CS200C产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS200C产品金属表面粗糙度更可达10RA以下，CS200D产品金属表面粗糙度可达25RA。
• CS200产品严格按照SEMI标准生产制造，尺寸符合国际通用的SEMI标准。
• CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字，模拟输入输出。
• 产品支持RS485，DeviceNet通讯方式。
• 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。
腐蚀性气体质量流量计气体配比器
产品型号 | KT-PCS4Z | KT-C4ZS | |||
气体通道 | 4进1出 | 4进1出 | |||
可根据需求定制 | |||||
产品类型 | 高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制 | ||||
可选量程 | 20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选) | ||||
产品精度 | 高精度型±1％F.S | 普通型±1％F.S | |||
重复精度 | 高精度型±0.2% F.S | 普通型±0.2% F.S | |||
线性 | 高精度型±0.5% F.S. | 普通型±1% F.S. | |||
响应时间 | 高精度型≤2sec | 普通型≤4sec | |||
工作温度范围 | (5~45)°C | ||||
供电电源 | ~85-265VAC 50/60Hz | ||||
较大功耗 | 40W | ||||
进气口压 | ≤0.6MPa | ||||
连接管道 | 316不锈钢管道 | ||||
截止阀类型 | 电磁阀 | ||||
单向阀开启压力 | 0.02Mpa | ||||
压力显示量程 | 0-0.6Mpa | ||||
控制方式 | 7寸触摸屏智能调节 | ||||
时间设定 | 0-32000分钟 | ||||
清洗功能 | 一键清洗 | ||||
程序控制 | 5段可编程序(时间-流量随意设定值) | ||||
压力显示 | 有（压力检测且有压力上限设置过压切断总输路） | ||||
气体混合罐 | 有（内置不锈钢扰流板气体混合均匀） | ||||
气体加热 | 无（可选配气体混合罐加热，加热温度室温至350℃可调） | ||||
流量累计 | 有（累计当前运行总流量） | ||||
可选进口接头形式 | 3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头 | ||||
抗电磁干扰 | 有 | ||||
外形尺寸 | 550x380x400mm | ||||
重量 | 18KG～20KG | ||||