微型高温探针台KT-Z400MR4T
系列微型真空探针台是一款专门用于材料电学表征和测量的微型桌面型电学测量台,主要用于介电、压电、铁电、热释电、光电等材料的电学性能表征和测 量,还可以在真空、气氛环境下对材料进行电学测量评估,是实验室测量薄膜材料电学性能工具,广泛用于高校、科研、航天航空、院所等领域。
主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动从功能上来区分有:温控探针台,真空探针台(低温探针台),RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台。普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。自动探针测试台在功能及组成上大同小异,即主要由x-y向工作台,可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成
为了减少泵组的振动,我们还专门为用户设计了隔振器,很大程度地衰减泵组工作时产生的振动,以确保系统的稳定,减少探针的漂移。
微型高温探针台KT-Z400MR4T参数
真空腔体 | ||
类型 | 高温型室温到350℃ | 高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃ |
腔体材质 | 304不锈钢 6061铝合金 可选 | |
腔体内尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔体外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔体重量 | 不锈钢材质 约1.5K 铝合金材质 约0.5K | |
腔体上视窗尺寸 | Φ42mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离) | |
腔体抽气口 | KF16法兰(其余接口规格可转接) | |
腔体真空测量口 | KF16法兰(其余接口规格可转接) | |
腔体进气口 | 6mm快拧 或 6mm快插 | |
腔体冷却方式 | 腔体水冷+上盖气冷 | |
腔体水冷接口 | ||
腔体正压 | ≤0.05MPa | |
腔体真空度 | 机械泵≤5Pa (5分钟) 分子泵≤5E-3Pa(30分钟) | |